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申購(gòu)主題： 超高真空冷熱交變壓力擴(kuò)散系統(tǒng)
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競(jìng)價(jià)開(kāi)始時(shí)間： **** 11:29:20
競(jìng)價(jià)截至?xí)r間： **** 12:00:00
幣種： 人民幣
付款方式： 貨到驗(yàn)收合格后付款
備注說(shuō)明：
質(zhì)疑說(shuō)明： 如果對(duì)成交結(jié)果有異議，請(qǐng)?jiān)诎l(fā)布成交結(jié)果之日起三個(gè)工作日內(nèi)向采購(gòu)單位提出質(zhì)疑
成交總額： 195000.00
送貨時(shí)間： 發(fā)布競(jìng)價(jià)結(jié)果后60天內(nèi)送達(dá)
安裝要求： 免費(fèi)上門(mén)安裝（含材料費(fèi)）
收貨地址：
| 采購(gòu)項(xiàng) | 品牌 | 單項(xiàng)預(yù)算 | 成交單價(jià) | 質(zhì)保及售后服務(wù) | 技術(shù)參數(shù) | 數(shù)量 | 型號(hào) | 成交總價(jià) | 成交供應(yīng)商 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 超高真空冷熱交變壓力擴(kuò)散系統(tǒng) | 鵬程真空 | 199500.00 | 195000.00 | 1.質(zhì)量保證期：自交貨驗(yàn)收完畢之日算起，所有產(chǎn)品質(zhì)保24個(gè)月。投標(biāo)供應(yīng)商對(duì)提供的物資在質(zhì)保期內(nèi)，因產(chǎn)品質(zhì)量而導(dǎo)致的缺陷，應(yīng)當(dāng)免費(fèi)提供包修、包換、包退服務(wù)，因此導(dǎo)致的損失采購(gòu)單位 有權(quán)向中標(biāo)供應(yīng)商追償。超出質(zhì)保期后，投標(biāo)供應(yīng)商應(yīng)當(dāng)提供上門(mén)維修服務(wù)，僅收取成本費(fèi)。 2.投標(biāo)供應(yīng)商須提供全套完整的產(chǎn)品中文技術(shù)資料，包括產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)、圖紙、操作手冊(cè)、維修指南、電路總框圖等。 3.投標(biāo)供應(yīng)商應(yīng)當(dāng)承諾提供該物資的技術(shù)培訓(xùn)、技術(shù)支持和維修巡檢服務(wù)，服務(wù)內(nèi)容包括每一年技術(shù)培訓(xùn)不少于2次，并在投標(biāo)文件中提供相應(yīng)書(shū)面方案。根據(jù)項(xiàng)目情況，提供產(chǎn)品建檔計(jì)劃等。 4.維修備件支持、零配件及耗材供應(yīng)保障時(shí)間：5年。 5.主要零配件及耗材價(jià)格：提供全國(guó)統(tǒng)一報(bào)價(jià)，并提供本項(xiàng)目具體報(bào)價(jià)表（按全國(guó)統(tǒng)一報(bào)價(jià)折扣率換算，且不得超過(guò)全國(guó)統(tǒng)一報(bào)價(jià)的70%）。 6.保修期外維修收費(fèi)：免收除零配件及耗材外的一切費(fèi)用。 7.投標(biāo)供應(yīng)商應(yīng)當(dāng)承諾，對(duì)售后服務(wù)需求提供2小時(shí)電話響應(yīng)，48 小時(shí)內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)實(shí)施維修，72小時(shí)仍未排除故障、恢復(fù)正常運(yùn)轉(zhuǎn)的，由投標(biāo)供應(yīng)商提供同類(lèi)型備品、備件等。 8.售后服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)：（廠所人員電話） | 一、系統(tǒng)功能及構(gòu)成 該系統(tǒng)為單室結(jié)構(gòu)，主要由真空室、基片臺(tái)、加熱系統(tǒng)、直流電源、工作氣路、真空獲得系統(tǒng)、安裝機(jī)臺(tái)、真空測(cè)量、水冷卻及報(bào)警系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等部分組成，可用于金屬薄膜高低溫交變材料擴(kuò)散制備。 二、系統(tǒng)的主要組成及技術(shù)指標(biāo) 擴(kuò)散室極限真空度：≤6.0 x10-6 Pa (新設(shè)備經(jīng)10小時(shí)烘烤除氣后)； 系統(tǒng)真空檢漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.L/S；(設(shè)備經(jīng)檢漏儀檢測(cè)) 系統(tǒng)從大氣開(kāi)始抽氣：濺射室40分鐘可達(dá)到2.0x10-4 Pa；(新設(shè)備經(jīng)15小時(shí)烘烤除氣后) 系統(tǒng)停泵關(guān)機(jī)12小時(shí)后真空度：≤1Pa；（設(shè)備壓升低于0.67L/H標(biāo)準(zhǔn)） 1. 真空室 1套 真空室為方形上開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)，350 mm x 350 mm x250 mm，全不銹鋼結(jié)構(gòu)可內(nèi)烘烤到100～150 ℃，選用不銹鋼材料制造，氬弧焊接，表面進(jìn)行電化學(xué)拋光鈍化處理，接口采用金屬墊圈密封或氟橡膠圈密封；氣動(dòng)開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)；基片安裝在下上法蘭。 真空室組件上焊有各種規(guī)格的法蘭接口如下： 1.1 CF100法蘭接口：（接分子泵） 1.2 CF63法蘭接口：1個(gè)（觀察窗口）； 1.2 CF16法蘭接口：2個(gè)（1路進(jìn)氣管路、放氣閥）； 1.4 CF25法蘭接口：1個(gè)（用來(lái)安裝樣品臺(tái)）； 1.5 CF35法蘭接口：5個(gè)（接高真空電離規(guī)管、旁抽口、陶封引線,冷卻水路）； 1.6 CF16法蘭接口：2個(gè)（備用）。 3、平面樣品基片臺(tái) （廠家：鵬程真空 304不銹鋼制造） 1套 3.1 樣品尺寸和數(shù)量：最大直徑100 mm樣品1片； 3.2 樣品通過(guò)進(jìn)口抗化學(xué)反應(yīng)保護(hù)設(shè)計(jì)，加熱溫度：室溫～1100 °C，控溫精度±0.5 ℃，由熱電偶閉環(huán)反饋控制，可控可調(diào)，可絕緣密封承受-1000 V高壓；采用進(jìn)口控溫表進(jìn)行控溫可編程分段控制。 3.3 原位樣品冷卻功能設(shè)計(jì)，通過(guò)外置冷媒循環(huán)分段降溫，可實(shí)現(xiàn)樣品急速冷卻也可實(shí)現(xiàn)進(jìn)口控溫表控溫下編程分段溫度控制。降溫溫度：1100～-40°C，控溫精度±0.5 ℃， 4、加熱裝置 1套 4.1 加熱裝置在真空室下法蘭上，對(duì)基片托板進(jìn)行加熱，通過(guò)熱電偶控制控溫電源實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，系統(tǒng)由加熱器和1個(gè)加熱控溫電源組成，加熱電源配備進(jìn)口控溫表，控溫方式為PID自動(dòng)控溫及數(shù)字顯示；樣品加熱溫度：室溫～1100 °C，控溫精度±0.5 ℃，連續(xù)可調(diào)。 4.2、1000 W脈沖直流加熱電源2臺(tái)； 5、制冷裝置 1套 5.1 制冷系統(tǒng)采用蒸汽壓縮式制冷，降溫溫度：1100～-40°C控溫精度可達(dá)±2℃，多路輸出、多路負(fù)載，。 且可實(shí)現(xiàn)過(guò)熱、過(guò)載、缺水等多重報(bào)警功能，遠(yuǎn)程控制通訊方式控制。 6、真空加壓裝置 1套 采用模塊化設(shè)計(jì)的EPS伺服壓裝系統(tǒng)，由伺服電缸、E-Press 工業(yè)軟件、控制箱、監(jiān)控儀和線纜模塊五部分組成。模塊化伺服控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)力、位移、時(shí)間數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)采集和分析，對(duì)裝配過(guò)程中的力與位移、力與時(shí)間進(jìn)行有效監(jiān)測(cè)；具有壓力控制、位移控制、速度控制。 6.1導(dǎo)向系統(tǒng)：四立柱壓機(jī)框架系統(tǒng)一套（碳鋼），帶導(dǎo)向橫梁；壓力傳感器，光柵尺。 6.2控制方式可實(shí)現(xiàn)位移控制與壓力控制雙模式 6.3上壓力行程：50MM光柵尺顯示精度5UM 6.4整個(gè)電缸加壓臺(tái)加工保證加工精度，最終安裝完成后，下橫梁上表面與導(dǎo)向橫梁下表面，平面度不大于0.2MM/1000MM，下橫梁上表面與導(dǎo)向橫梁下表面平行度不大于1MM, 導(dǎo)向橫梁中心Φ300直徑范圍內(nèi)下表面與下橫梁平行度不大于0.3MM, 與之對(duì)應(yīng)的連接件上面平行度與平面度要求加工精度均小于0.2MM, 以此來(lái)保證最終上下壓頭平行不大于1MM. 5.5最大壓力2T，最小壓力50kg，全量程壓力輸出控制精度：±1Kg 6、工作氣路 3套 6.1、100 SCCM氬、200 SCCM氧 、200 SCCM氮質(zhì)量流量控制器、CF16電動(dòng)截止閥、管路、接頭等：共3路；氣體流量控制器準(zhǔn)確度：準(zhǔn)確度±1.5%F.S，線性±1%F.S，重復(fù)精度±0.2%F.S。 6.2、KF16氣動(dòng)充氣閥、DN6電動(dòng)截止閥、管路、接頭等：2路（浙江科本、厚禮博）。 7、抽氣機(jī)組及閥門(mén)、管道 1套 7.1 復(fù)合分子泵及變頻控制電源：1臺(tái)（700 L/s）； 7.2 、渦旋干泵： 1臺(tái)（8 L/s）； 7.3 KF40氣動(dòng)角閥：2臺(tái)； 7.4 機(jī)械泵與真空室之間的旁抽管路：1套； 7.5 CF150電動(dòng)閘板閥：1臺(tái)（用于復(fù)合分子泵與真空室隔離）； 7.6 KF16氣動(dòng)角閥：2臺(tái)； 7.7 壓差式充氣閥：1臺(tái)； 8、安裝機(jī)臺(tái)架組件 采用分體設(shè)計(jì)機(jī)架，四周快卸圍板表面噴塑處理；四只承載腳輪，可固定，可移動(dòng)。(尺寸:880 mm x 780 mm x 1800 mm，重量:400 kg) 9、真空測(cè)量 1套 9.1 濺射室真空度采用進(jìn)行測(cè)量（ZDF-5227，量程1x105 Pa～1x10 -5 Pa）； 9.2 鍍膜采用薄膜規(guī)進(jìn)行測(cè)量（CDG025D，13.3Pa 或 10Pa，精度 0.5%） 10.膜厚儀 1套 10.1、MHY485-2CH雙通道 V3.4兩路水冷探頭 10.1檢測(cè)范圍：0～99u9999 ； 10.2膜厚顯示分辨率：1； 10.3速度顯示分辨率：0.1/s； 10.4監(jiān)測(cè)時(shí)間顯示范圍：1分～99小時(shí)； 10.5安裝位置：安裝在真空室側(cè)壁，探頭位置靠近樣品，膜厚探頭水冷，進(jìn)出冷卻水各1路，探頭上安裝水流繼電器，具有斷水報(bào)警功能；配置2組水冷探頭。 11、系統(tǒng)采用PLC控制方式 1套 通態(tài)15寸工控一體機(jī)觸摸屏+PLC 11.1、在實(shí)驗(yàn)鍍膜模式情況下，可實(shí)現(xiàn)一鍵啟動(dòng)抽空到達(dá)工作真空度后，手動(dòng)進(jìn)行鍍膜參數(shù)設(shè)置，實(shí)驗(yàn)結(jié)束后一鍵自動(dòng)充氣，整體節(jié)省操作時(shí)間。此時(shí)系統(tǒng)處于開(kāi)環(huán)控制狀態(tài)。 11.2、系統(tǒng)提供計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)通訊，顯示記錄真空度以及加熱溫度PID調(diào)節(jié)設(shè)定。 11.3、系統(tǒng)提供計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)通訊，設(shè)定顯示直流電源、射頻電源功率參數(shù)調(diào)整，氣體流量控制調(diào)節(jié)，制定工藝菜單及自動(dòng)記錄設(shè)定各項(xiàng)工藝參數(shù)存儲(chǔ)。 11.4、系統(tǒng)提供計(jì)算機(jī)MFC的工藝氣體穩(wěn)壓控制調(diào)節(jié)。 11.5、計(jì)算機(jī)設(shè)定顯示擋板狀態(tài)，樣品轉(zhuǎn)速等 12、提供冷卻水循環(huán)機(jī)：1 P 1臺(tái) 13、靜音氣泵：1200 W 1臺(tái) 14、備品備件： 1套 （CF16銅圈2個(gè)、CF35銅圈3個(gè)、CF200銅圈1個(gè)，聚酯 PU 管（Φ6mm） 4m） 15.整體性能要求： 14.1樣品片內(nèi)膜厚不均勻度：≤ ±2%（同一樣品中心直徑75 mm范圍內(nèi)隨機(jī)取膜厚測(cè)試點(diǎn)，不少于5個(gè)測(cè)試點(diǎn)）； 14.2樣品片間膜厚不均勻度：≤ ±2%（不同樣品中心直徑75 mm范圍內(nèi)隨機(jī)取膜厚測(cè)試點(diǎn)，不同批次樣品總數(shù)不少于5個(gè) 三、技術(shù)服務(wù)及質(zhì)量保證 1、按ISO9001質(zhì)量管理體系組織設(shè)計(jì)、加工、裝調(diào)、檢驗(yàn)、包裝、運(yùn)輸； 2、提供該設(shè)備的技術(shù)使用說(shuō)明書(shū)及外購(gòu)配件儀器儀表說(shuō)明書(shū)； 3、在甲方現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)收后，3年內(nèi)免費(fèi)維修正常使用出現(xiàn)的故障，非正常的故障維修只核收工本費(fèi)及差旅費(fèi)，終身維修只核收工本費(fèi)及差旅費(fèi)； 4、每年免費(fèi)提供2次設(shè)備巡檢，保證客戶設(shè)備處于完好狀態(tài)。 四、現(xiàn)場(chǎng)安裝具備的條件 1、電源220 V、50 Hz，功率大于6.5 kW，波動(dòng)范圍：小于±6％，配置多路接線插座； 2、可靠地線, 對(duì)地電阻小于2 Ω； 3、安裝場(chǎng)地面積大于2 M2，高度要求高于2.4 M； 4、要求安裝場(chǎng)地的標(biāo)準(zhǔn)溫度為20 ℃～24 ℃，標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)濕度為50%～60%； 5、要求有普通氮?dú)?，壓?qiáng)要在2～3個(gè)大氣壓之間； 6、外排廢氣管道； 7、注： 設(shè)備前方、后方需要根據(jù)實(shí)際留出氣源等的操作空間，大約0.5米。 五、培訓(xùn) 1、培訓(xùn)時(shí)間：3天 培訓(xùn)人數(shù)：2-3人 2、培訓(xùn)內(nèi)容及要求： 培訓(xùn)內(nèi)容及要求：了解設(shè)備的工作原理、組成及各部組件、控制系統(tǒng)的工作原理和使用方法。熟練掌握整套系統(tǒng)的操作規(guī)程。能夠?qū)υO(shè)備的一般故障進(jìn)行診斷和簡(jiǎn)單維修，進(jìn)行易損件的更換。對(duì)設(shè)備能夠進(jìn)行日常的維護(hù)和保養(yǎng)。 提供終身人員培訓(xùn)：可以為客戶培訓(xùn)操作人員，不限人次。 六、相關(guān)的技術(shù)資料 1、設(shè)備操作、維護(hù)使用說(shuō)明書(shū)（1套） 2、各類(lèi)外購(gòu)件使用說(shuō)明書(shū) 3、設(shè)備出廠合格檢驗(yàn)證明（1套） 4、裝箱單（1套） | 1.0 | PCYK300 | 195000.00 | 沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司 |
