射頻電源和真空等離子體系統(tǒng)打包采購公告

是否接受進(jìn)口

拒絕進(jìn)口

品牌

無推薦品牌

型號

無推薦型號

技術(shù)規(guī)格及參數(shù)

1、電壓范圍：220VAC±20％，3線，帶地線（PE）；
2、頻率范圍：47Hz~53Hz；
3、輸入電流：5.3A；
4、浪涌電流：冷啟動40A；
5、功率因數(shù)：PF≥0.95（最大功率輸出時）；
6、效率：≥70％（輸出功率大于100W，并且負(fù)載為標(biāo)準(zhǔn)50歐姆時）；
7、輸出頻率：13.56MHz±50ppm；
8、功率：最小功率5W，最大功率600W，連續(xù)可調(diào)；
9、最大反射功率：100W,如果反射功率大于100W，射頻電源會降低輸出，保持發(fā)射不大于100W。

質(zhì)保期

1.產(chǎn)品質(zhì)保2年，質(zhì)保期內(nèi)維修免費（人為損壞因素除外），質(zhì)保期以外設(shè)備的維護(hù)，只收取成本費。
2.為保證售后服務(wù)質(zhì)量，設(shè)備必須提供制造廠家授權(quán)文件和售后服務(wù)承諾。
3.所響應(yīng)產(chǎn)品必須是全新、未使用過的原裝合格正品（包括零部件）。

售后要求

24小時內(nèi)響應(yīng)客戶，重大問題48小時內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場

是否接受進(jìn)口

拒絕進(jìn)口

品牌

無推薦品牌

型號

無推薦型號

技術(shù)規(guī)格及參數(shù)

1、真空腔室：尺寸φ500×H420mm,材質(zhì)SUS304優(yōu)質(zhì)不銹鋼，圓柱形、前開門結(jié)構(gòu)；
2、基片臺：尺寸φ150mm， 0～20轉(zhuǎn)/分鐘旋轉(zhuǎn)可調(diào)可控，加熱至500℃可調(diào)可控，基片臺帶有絕緣設(shè)計，可加負(fù)偏壓，配氣動擋板；
3、平面靶：3套3英寸平面靶，靶角度、靶基距免拆卸手動可調(diào)，帶獨立氣動擋板；
4、真空系統(tǒng)：采用復(fù)合分子泵（1200L/S）+直聯(lián)高速旋片式真空泵(9L/S)+高真空閥門+數(shù)顯復(fù)合真空計；
5、氣路：Ar，100sccm；N2，50sccm；O2，20sccm；
6、水路和空壓：配制冷量5.17KW冷水機(jī)；配最大排氣量115L/min空壓機(jī)；
7、自動恒壓系：薄膜規(guī)+電機(jī)驅(qū)動控制閥+控制軟件閉環(huán)自動控制；保持鍍膜時工藝壓力穩(wěn)定；
8、電氣控制：PLC+觸摸屏半自動控制系統(tǒng)；
9、機(jī)架：機(jī)架和控制柜一體化設(shè)計，碳鋼制作，表面噴塑處理，配腳輪；
10、靶材：鉑99.99%，φ76.2×2mm，1塊；銅，φ76.2×3mm，1塊；鎳99.995%，φ76.2×2mm，1塊；鉻99.95% ，φ76.2×5mm，1塊；鎳鉻合金（鎳90:鉻10），φ76.2*5mm，1塊。

質(zhì)保期

1.產(chǎn)品質(zhì)保2年，質(zhì)保期內(nèi)維修免費（人為損壞因素除外），質(zhì)保期以外設(shè)備的維護(hù)，只收取成本費。
2.為保證售后服務(wù)質(zhì)量，設(shè)備必須提供制造廠家授權(quán)文件和售后服務(wù)承諾。
3.所響應(yīng)產(chǎn)品必須是全新、未使用過的原裝合格正品（包括零部件）。

售后要求

24小時內(nèi)響應(yīng)客戶，重大問題48小時內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場