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中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所電子圖形化設(shè)備招標預(yù)告(原標題: 電子圖形化設(shè)備)

江蘇蘇州 全部類型 2025年01月07日
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點擊登錄查看2025年1至12月政府采購意向-電子圖形化設(shè)備 詳細情況
電子圖形化設(shè)備
項目所在采購意向： 點擊登錄查看2025年1至12月政府采購意向
采購單位： 點擊登錄查看
采購項目名稱： 電子圖形化設(shè)備
預(yù)算金額： 500.000000萬元(人民幣)
采購品目：
A****其他電工、電子生產(chǎn)設(shè)備
采購需求概況 ：
采購一臺電子圖形化設(shè)備，用于在器件工藝中實現(xiàn)15nm高精度圖形的制備。通過電子束轟擊電子敏感材料，精確控制電子束的掃描和定位，在材料上形成圖形。最小光刻線寬≤15 nm；電子槍最大加速電壓≥30 kV；最小聚焦束斑≤3 nm；套刻精度≤50 nm。
預(yù)計采購時間： 2025-02
備注：

本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準。

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