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點擊登錄查看2025年1至12月政府采購意向-等離子體超高真空高溫原子層沉積（ALD） 詳細(xì)情況
| 等離子體超高真空高溫原子層沉積（ALD） | |
| 項目所在采購意向： | 點擊登錄查看2025年1至12月政府采購意向 |
| 采購單位： | 點擊登錄查看 |
| 采購項目名稱： | 等離子體超高真空高溫原子層沉積（ALD） |
| 預(yù)算金額： | 500.000000萬元(人民幣) |
| 采購品目： | A****其他電工、電子生產(chǎn)設(shè)備 |
| 采購需求概況 ： | 采購等離子體超高真空高溫原子層沉積設(shè)備1臺，用于實現(xiàn)超薄二維原子晶體材料大尺寸、大晶粒、原子層可控制備。生長樣品尺寸可兼容2英寸，生長加熱溫度可達(dá)500℃，加熱臺最高加熱溫度可達(dá)1000℃；包含6路前驅(qū)體源管路，其中3路為常溫源，3路為加熱源，前驅(qū)體源加熱溫度不低于200℃；包含熱ALD和PEALD兩種模式。 |
| 預(yù)計采購時間： | 2025-02 |
| 備注： | |
本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。
