超快激光光學(xué)加工平臺

A****教學(xué)儀器

場鏡振鏡工作平臺，一套1.光學(xué)平臺尺寸：400×1100×200mm@1，900×1200×200mm@2，1200×1800×200mm@3 2.伺服驅(qū)動xy模組：負載10公斤，重復(fù)定位精度±5μm，行程100×100mm 3.伺服驅(qū)動z軸：負載10公斤，重復(fù)定位精度±5μm，行程300mm 4.宙斯控制器軟件系統(tǒng)： 硬件：1、支持1路XY2-100協(xié)議；2、4路運動軸；3、1路激光器；4、IO：16進16出 軟件：1、CAD編輯；2、激光加工控制；3、振鏡校正；4、工藝參數(shù)修改 5.振鏡頭：波長355nm、532nm、1064nm，通光孔徑14mm 6.振鏡跟蹤誤差：0.15ms 7.振鏡標記速度（f=160mm）：2m/s 8.振鏡定位速度（f=160mm）：14m/s 9.振鏡階躍響應(yīng)時間（全行程1%）：0.35ms 10.振鏡重復(fù)精度：＜25μRad/℃ 11.振鏡增益漂移：＜25PPM/℃ 12.振鏡長時間漂移（連續(xù)工作8小時）：＜0.3mRad 13.振鏡機械掃描角度：±0.35rad 14.場鏡頭：波長355nm、532nm、1064nm，14mm光斑入射 15.場鏡焦距：160mm，170mm 16.場鏡掃描范圍：100×100mm 17.場鏡掃描角度：±25°，±22°，±26.6° 18.場鏡聚集光斑直徑（1/e2）：15-21μm，11-13μm，21-29μm