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ATC系列多腔&多工藝混合系統(tǒng)

免費樣品檢驗 48小時發(fā)貨 工廠直銷
300萬-1000萬

產品規(guī)格:集成多種薄膜沉積方式、離子刻蝕和單腔室內分析操作或多腔室內

公司所在地:重慶

產品庫存:現貨及定制

可供貨地區(qū):全國

其他說明:

可集成多種工藝; 包含:標準多腔系統(tǒng)配置、標準單腔混合工藝系統(tǒng)配置

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可集成多種工藝; 包含:標準多腔系統(tǒng)配置、標準單腔混合工藝系統(tǒng)配置收起

品牌:
AJA
型號:
ATC UHV 超高真空雙腔系統(tǒng)
用途范圍:
實現基片在不同工藝腔之間傳輸,不破壞真空
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