品牌:
AJA
型號(hào):
ATC UHV 超高真空雙腔系統(tǒng)
用途范圍:
實(shí)現(xiàn)基片在不同工藝腔之間傳輸,不破壞真空
產(chǎn)品規(guī)格:集成多種薄膜沉積方式、離子刻蝕和單腔室內(nèi)分析操作或多腔室內(nèi)
公司所在地:重慶
產(chǎn)品庫存:現(xiàn)貨及定制
可供貨地區(qū):全國(guó)
可集成多種工藝; 包含:標(biāo)準(zhǔn)多腔系統(tǒng)配置、標(biāo)準(zhǔn)單腔混合工藝系統(tǒng)配置
展開可集成多種工藝; 包含:標(biāo)準(zhǔn)多腔系統(tǒng)配置、標(biāo)準(zhǔn)單腔混合工藝系統(tǒng)配置收起