品牌:
SENTECH
功能:
沉積超薄、無針孔及顆粒的膜層
用途范圍:
納米科技、微系統(tǒng)應(yīng)用、器件鈍化等
產(chǎn)品規(guī)格:沉積超薄、無針孔和顆粒的膜層
公司所在地:重慶
產(chǎn)品庫(kù)存:現(xiàn)貨及定制
可供貨地區(qū):全國(guó)
原子層沉積(ALD)原理是通過在工藝循環(huán)周期內(nèi)分步向真空腔內(nèi)添加前驅(qū)體、實(shí)現(xiàn)對(duì)膜層厚度的精確控制,此區(qū)別于普通 CVD 或PECVD原理。
展開原子層沉積(ALD)原理是通過在工藝循環(huán)周期內(nèi)分步向真空腔內(nèi)添加前驅(qū)體、實(shí)現(xiàn)對(duì)膜層厚度的精確控制,此區(qū)別于普通 CVD 或PECVD原理。收起