低溫耦合等離子刻蝕機(jī)

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￥300萬-1000萬

產(chǎn)品規(guī)格：低溫刻蝕、平板三螺旋天線PTSA、高選擇比

公司所在地：重慶

產(chǎn)品庫存：現(xiàn)貨及定制

可供貨地區(qū)：全國

其他說明：

刻蝕機(jī)可在-100°C左右的低溫下實(shí)現(xiàn)深硅刻蝕。采用連續(xù)的SF6/O2刻蝕工藝，在側(cè)壁上生成低溫自鈍化層。該工藝刻蝕后形成光滑的側(cè)壁，在光學(xué)應(yīng)用上非常重要。同時刻蝕工藝的高刻蝕速率可實(shí)現(xiàn)刻樣傳片。

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刻蝕機(jī)可在-100°C左右的低溫下實(shí)現(xiàn)深硅刻蝕。采用連續(xù)的SF6/O2刻蝕工藝，在側(cè)壁上生成低溫自鈍化層。該工藝刻蝕后形成光滑的側(cè)壁，在光學(xué)應(yīng)用上非常重要。同時刻蝕工藝的高刻蝕速率可實(shí)現(xiàn)刻樣傳片。收起