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低溫耦合等離子刻蝕機

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￥300萬-1000萬

產(chǎn)品規(guī)格：低溫刻蝕、平板三螺旋天線PTSA、高選擇比

公司所在地：重慶

產(chǎn)品庫存：現(xiàn)貨及定制

可供貨地區(qū)：全國

其他說明：

刻蝕機可在-100°C左右的低溫下實現(xiàn)深硅刻蝕。采用連續(xù)的SF6/O2刻蝕工藝，在側(cè)壁上生成低溫自鈍化層。該工藝刻蝕后形成光滑的側(cè)壁，在光學應(yīng)用上非常重要。同時刻蝕工藝的高刻蝕速率可實現(xiàn)刻樣傳片。

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刻蝕機可在-100°C左右的低溫下實現(xiàn)深硅刻蝕。采用連續(xù)的SF6/O2刻蝕工藝，在側(cè)壁上生成低溫自鈍化層。該工藝刻蝕后形成光滑的側(cè)壁，在光學應(yīng)用上非常重要。同時刻蝕工藝的高刻蝕速率可實現(xiàn)刻樣傳片。收起

品牌：
SENTECH
型號：
SI 500、SI 500C等
功能：
刻蝕后形成光滑側(cè)壁，在光學應(yīng)用中非常重要
用途范圍：
可在-100℃左右低溫下實現(xiàn)深硅刻蝕
重慶眺...
重慶眺望科技有限公司
聯(lián)系人：眺望科技
主營業(yè)務(wù)：美國AJA磁控濺射，離子刻蝕、電子束蒸發(fā)等PVD設(shè)備，先進電鍍設(shè)備，ICP,PECVD,ALD,RIE等離子體工藝設(shè)備等，美國Film Sense多波長橢偏儀，ATL激光器以及徠卡LEICA光學顯微鏡
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